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三氟化氮 | 7783-54-2

三氟化氮结构式图片|7783-54-2结构式图片
三氟化氮
Nitrogen trifluoride
7783-54-2
NF3
71.0019
24553
管制类
简介
三氟化氮(nitrogen trifluoride)化学式NF₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
名称和标识符
InChIKey GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
Inchi 1S/F3N/c1-4(2)3
SMILES FN(F)F
别名信息
- 中文别名 -
  • 三氟化氮
  • 氟化氮
- 英文别名 -
  • Nitrogen trifluoride
  • Nitrogen fluoride
  • N,N,N-Trifluoroamine
  • NF3
  • Perfluoroammonia
  • Stickstofftrifluorid
  • Trifluoramine
  • Trifluorammonia
  • Trifluoroamine
  • Trifluoroammonia
  • NITROGEN TRIFLUORIDE
  • DTXSID4040181
  • HSDB 1113
  • Nitrogen fluoride (NF3)
  • trifluoroazane
  • UN 2451
  • Nitrogen trifluoride 99%
  • NITROGEN FLUORIDE [MI]
  • UN-2451
  • UNII-4402F4X0RH
  • DTXCID2020181
  • NS00043980
  • UN2451
  • 7783-54-2
  • NF(3) gas
  • FT-0694034
  • EINECS 232-007-1
  • N,N,N-Trifluoroamine #
  • 4402F4X0RH
  • Nitrogen trifluoride, compressed [UN2451] [Nonflammable gas]
  • Nitrogen trifluoride, compressed
  • [NF3]
  • trifluoridonitrogen
  • GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N
  • MFCD00042549
  • Q413835
  • EC 232-007-1
  • (NF3)
  • CHEBI:30231
物化性质
实验特性
LogP 0.94190
PSA 3.24000
折射率 1.187
水溶性 不溶
沸点 -129 ºC
熔点 -207 ºC
闪点 无意义
颜色与性状 无色、带霉味的气体。[1]
溶解性 不溶于水。[8]
密度 (liq at bp) 1.885
计算特性
精确分子量 70.99830
氢键供体数量 0
氢键受体数量 4
可旋转化学键数量 0
同位素质量 70.998284
重原子数量 4
复杂度 8
同位素原子数量 0
确定原子立构中心数量 0
不确定原子立构中心数量 0
确定化学键立构中心数量 0
不确定化学键立构中心数量 0
共价键单元数量 1
疏水参数计算参考值(XlogP) 1.9
互变异构体数量
表面电荷 0
拓扑分子极性表面积 3.2
国际标准相关数据
EINECS 232-007-1
相关文献
专业数据库参考
PubChemId 24553
化合物详情(旧版)

SMILES

FN(F)F

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